美國(guó)擁有世界一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司，如應(yīng)用材料、Lam和 KLA，這些公司的全球市場(chǎng)份額超過(guò) 40%，并且都制造半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備，例如蝕刻、沉積和檢測(cè)。然而，令人意外的是，雖然美國(guó)收緊了半導(dǎo)體出口法規(guī)以遏制中國(guó)在高科技領(lǐng)域的進(jìn)步，但中國(guó)對(duì)美國(guó)設(shè)備的購(gòu)買量卻增加了。

據(jù)ET News分析，今年第一季度，美國(guó)向中國(guó)出售的半導(dǎo)體設(shè)備總額為12.71億美元，較上一季度（10.63億美元）增長(zhǎng)約20%。今年1-5月，美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)華出口總額為21.96億美元，比去年同期的14.12億美元增長(zhǎng)了55%。

之所以出現(xiàn)以上情況，一方面是因?yàn)橹袊?guó)必須盡快獲得半導(dǎo)體設(shè)備，并在可能的情況下通過(guò)購(gòu)買設(shè)備來(lái)為美國(guó)可能追加的制裁做好準(zhǔn)備。目前，只有用于10nm及更先進(jìn)制程的半導(dǎo)體設(shè)備受到出口管制，但10nm及以上工藝的設(shè)備可隨時(shí)納入出口禁令。另一方面，可以看出中國(guó)大陸半導(dǎo)體消費(fèi)市場(chǎng)的火爆程度，各晶圓廠建設(shè)如火如荼，對(duì)各種半導(dǎo)體設(shè)備有著強(qiáng)烈的需求。

半導(dǎo)體設(shè)備消費(fèi)力大增

在消費(fèi)端，隨著晶圓產(chǎn)能向中國(guó)大陸轉(zhuǎn)移，晶圓廠建設(shè)提速，對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的需求也水漲船高。美國(guó)最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商應(yīng)用材料2020財(cái)年數(shù)據(jù)顯示，該財(cái)年的營(yíng)收為172億美元，其中，來(lái)自中國(guó)大陸的營(yíng)收達(dá)到54.6億美元，占比31.7%，而且連續(xù)5年增長(zhǎng)。中國(guó)大陸超過(guò)韓國(guó)和中國(guó)臺(tái)灣，成為世界最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)。

另外，Lam公司2020財(cái)年?duì)I收100.45億美元，中國(guó)大陸市場(chǎng)貢獻(xiàn)了31%的營(yíng)收，超過(guò)韓國(guó)成為其最大營(yíng)收市場(chǎng)。日本東京電子2021財(cái)年前兩個(gè)季度來(lái)自中國(guó)大陸的營(yíng)收達(dá)到1530億日元，占到其營(yíng)收的24%，2021財(cái)年前兩個(gè)季度來(lái)自中國(guó)大陸的營(yíng)收已經(jīng)超過(guò)韓國(guó)，成為其營(yíng)收最大市場(chǎng)。此外，ASML的DUV光刻機(jī)營(yíng)收最大市場(chǎng)也是中國(guó)大陸。

按照SEMI的統(tǒng)計(jì)和預(yù)測(cè)，中國(guó)大陸市場(chǎng)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的需求量已經(jīng)超過(guò)全球所有其它市場(chǎng)，且增長(zhǎng)潛力還很大，這在很大程度上是由存儲(chǔ)芯片制造驅(qū)動(dòng)的。這是因?yàn)樯a(chǎn)制造能力是存儲(chǔ)器廠商的核心競(jìng)爭(zhēng)力，促使投資規(guī)?；?、長(zhǎng)期化。存儲(chǔ)器產(chǎn)業(yè)的兩大特點(diǎn)是拼制造工藝和產(chǎn)能，原因在于存儲(chǔ)芯片技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化程度高，各家廠商的產(chǎn)品容量、封裝形式都遵循標(biāo)準(zhǔn)的接口，在同質(zhì)化競(jìng)爭(zhēng)下，存儲(chǔ)廠商通過(guò)改進(jìn)制造工藝，提升產(chǎn)能，利用規(guī)模優(yōu)勢(shì)降低成本，以提升競(jìng)爭(zhēng)力。

在這種情況下，中國(guó)大陸存儲(chǔ)器廠商正在積極進(jìn)行工藝研發(fā)與產(chǎn)能建設(shè)，需要長(zhǎng)期、大規(guī)模的設(shè)備投入。

在過(guò)去幾年里，中國(guó)大陸掀起了存儲(chǔ)芯片制造廠建設(shè)熱潮，代表企業(yè)有：主要生產(chǎn)3D NAND閃存的長(zhǎng)江存儲(chǔ)，專注于DRAM的合肥長(zhǎng)鑫，以及福建晉華。其中，長(zhǎng)江存儲(chǔ)和合肥長(zhǎng)鑫在2020年都進(jìn)入了產(chǎn)能爬坡期，對(duì)相應(yīng)設(shè)備需求很迫切。

以長(zhǎng)江存儲(chǔ)為例，據(jù)集邦咨詢統(tǒng)計(jì)，該公司2019年第四季度產(chǎn)能約為2萬(wàn)片/月（12英寸），到2020年底有望擴(kuò)產(chǎn)至7萬(wàn)片/月，預(yù)計(jì)2023年將擴(kuò)產(chǎn)至30萬(wàn)片/月。根據(jù)湖北省發(fā)改委發(fā)布的信息，長(zhǎng)江存儲(chǔ)一期投資569.5萬(wàn)元（對(duì)應(yīng)10萬(wàn)片/月產(chǎn)能），其中2018、2019年投資分別為200萬(wàn)元和50萬(wàn)元。

此外，紫光集團(tuán)曾宣布在南京、成都、重慶陸續(xù)展開(kāi)集成電路基地建設(shè)，投資總規(guī)模在千億級(jí)別，其中，計(jì)劃在紫光南京存儲(chǔ)器制造基地投資300億美元，根據(jù)南京市人民政府發(fā)布的信息，紫光南京存儲(chǔ)器制造基地（一期）投資計(jì)劃800億元。

就目前情況來(lái)看，預(yù)計(jì)中國(guó)大陸主要存儲(chǔ)器廠在2019-2022年的投資規(guī)模分別為321.7億元、495.0億元、806.0億元、1116.3億元。這些錢“砸”下去，會(huì)對(duì)相應(yīng)的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)繁榮做出很大貢獻(xiàn)。

本土設(shè)備供給能力提升

中國(guó)大陸具備強(qiáng)大的半導(dǎo)體設(shè)備消費(fèi)能力，因此，各大半導(dǎo)體設(shè)備廠商都在緊盯著這塊蛋糕。然而，在供給側(cè)，中國(guó)本土的設(shè)備廠商在全球市場(chǎng)影響力比較小，很難對(duì)國(guó)際大廠形成壓力。

不過(guò)，隨著貿(mào)易壁壘加劇，以及本土設(shè)備廠商的頑強(qiáng)成長(zhǎng)，還有政府的大力支持，使得本土設(shè)備廠商有了更大的試錯(cuò)和成長(zhǎng)空間，近兩年的訂單量明顯提升。有統(tǒng)計(jì)顯示，多家本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)斬獲大單，2020年第四季度，國(guó)內(nèi)設(shè)備商中標(biāo)82臺(tái)，同比增長(zhǎng)100%，訂單周期2-3個(gè)季度，收入確認(rèn)在2021年，多項(xiàng)設(shè)備國(guó)產(chǎn)市場(chǎng)份額大幅提升10%以上。

國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)營(yíng)收陸續(xù)突破7-10億盈利拐點(diǎn)（統(tǒng)計(jì)國(guó)內(nèi)外設(shè)備企業(yè)，營(yíng)收7-10億是盈利拐點(diǎn)區(qū)間）。

按這樣的勢(shì)頭發(fā)展下去，2021年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率有望繼續(xù)提升。有望在競(jìng)爭(zhēng)激烈的國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)占有一席之地。

下面看一下WFE市場(chǎng)中國(guó)本土設(shè)備企業(yè)的發(fā)展情況。

刻蝕機(jī)方面，Lam、TEL、應(yīng)用材料都實(shí)現(xiàn)了硅刻蝕、介質(zhì)刻蝕、金屬刻蝕的全覆蓋，占據(jù)了全球干法刻蝕機(jī)市場(chǎng)80%以上的份額。

在中國(guó)市場(chǎng)，介質(zhì)刻蝕機(jī)是我國(guó)最具優(yōu)勢(shì)的半導(dǎo)體設(shè)備，目前，我國(guó)主流設(shè)備中，去膠設(shè)備、刻蝕設(shè)備、熱處理設(shè)備、清洗設(shè)備等的國(guó)產(chǎn)化率均已經(jīng)達(dá)到20%以上。而這其中市場(chǎng)規(guī)模最大的就是刻蝕設(shè)備，代表廠商為中微公司、北方華創(chuàng)，以及屹唐半導(dǎo)體。

中微半導(dǎo)體在介質(zhì)刻蝕領(lǐng)域較強(qiáng)，其產(chǎn)品已在包括臺(tái)積電，SK海力士、中芯國(guó)際等廠商的20多條生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)。該公司5nm等離子體蝕刻機(jī)已通過(guò)臺(tái)積電驗(yàn)證，已用于全球首條5nm工藝生產(chǎn)線。中微半導(dǎo)體還切入了TSV硅通孔刻蝕和金屬硬掩膜刻蝕領(lǐng)域。

北方華創(chuàng)在硅刻蝕和金屬刻蝕領(lǐng)域較強(qiáng)，其55nm/65nm硅刻蝕機(jī)已成為中芯國(guó)際主力設(shè)備，該公司的28nm硅刻蝕機(jī)也已進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化階段，14nm硅刻蝕機(jī)正在產(chǎn)線驗(yàn)證中，金屬硬掩膜刻蝕機(jī)則攻破了28nm-14nm制程。

物理薄膜沉積（PVD）方面，應(yīng)用材料一家獨(dú)大，占全球市場(chǎng)份額的80%以上?；瘜W(xué)沉積（CVD）方面，應(yīng)用材料、Lam Research、TEL三家占全球市場(chǎng)份額的70%以上。

中國(guó)設(shè)備廠商中，北方華創(chuàng)的薄膜沉積設(shè)備產(chǎn)品種類最多，其28nm硬掩膜PVD已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，銅互連PVD、14nm硬掩膜PVD、Al PVD、LPCVD、ALD（原子沉積）設(shè)備已進(jìn)入產(chǎn)線驗(yàn)證階段。2020年4月，北方華創(chuàng)宣布，其THEORISSN302D型12英寸氮化硅沉積設(shè)備進(jìn)入國(guó)內(nèi)集成電路制造龍頭企業(yè)。該設(shè)備的交付，意味著國(guó)產(chǎn)立式LPCVD設(shè)備在先進(jìn)集成電路制造領(lǐng)域的應(yīng)用拓展上實(shí)現(xiàn)重大進(jìn)展。

另外，中微半導(dǎo)體的MOCVD在國(guó)內(nèi)已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。沈陽(yáng)拓荊65nm的PECVD已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

離子注入方面，廠商主要有應(yīng)用材料和Axcelis。中國(guó)生產(chǎn)線上使用的離子注入機(jī)多數(shù)依賴進(jìn)口。

在國(guó)內(nèi)，北京中科信、中電科48 所、上海凱世通等也能提供少量產(chǎn)品。其中，中科信公司已具備不同種類（低能大束流、中束流和高能）離子注入機(jī)上線機(jī)型的量產(chǎn)能力。

清洗設(shè)備方面，目前槽式圓片清洗機(jī)在整個(gè)清洗流程中約占20%的份額，市場(chǎng)已逐漸被單圓片清洗機(jī)取代。槽式圓片清洗機(jī)主要廠商有迪恩士、TEL和JET，三家約占全球75%以上的市場(chǎng)份額。

在中國(guó)的單圓片濕法設(shè)備廠商中，盛美半導(dǎo)體獨(dú)家開(kāi)發(fā)的空間交變相位移（SAPS）兆聲波清洗設(shè)備和時(shí)序氣穴振蕩控制（TEBO）兆聲波清洗設(shè)備已經(jīng)成功進(jìn)入韓國(guó)及中國(guó)的集成電路生產(chǎn)線。北方華創(chuàng)的清洗設(shè)備也已成功進(jìn)入中芯國(guó)際生產(chǎn)線。

據(jù)中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)統(tǒng)計(jì)，在長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華虹無(wú)錫、上海華力二期項(xiàng)目累計(jì)采購(gòu)的200多臺(tái)清洗設(shè)備中，按中標(biāo)數(shù)量對(duì)供應(yīng)商排序，依次是迪恩士、盛美股份、Lam、TEL以及北方華創(chuàng)，所占份額依次是48%、20.5%、20%、6%和1%。

拋光機(jī)（CMP）方面，主要生產(chǎn)商是應(yīng)用材料，以及日本的Ebara，其中應(yīng)用材料約占全球CMP設(shè)備市場(chǎng)60%的份額，Ebara約占20%的份額。在中國(guó)，CMP設(shè)備的主要研發(fā)單位包括天津華海清科和中電科45所，其中，華海清科的拋光機(jī)已在中芯國(guó)際生產(chǎn)線上試用。

變數(shù)

針對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)，韓國(guó)一家半導(dǎo)體設(shè)備公司的負(fù)責(zé)人表示，中國(guó)“囤積”半導(dǎo)體設(shè)備直接或間接影響到韓國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。首先，中國(guó)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的持續(xù)采購(gòu)將給韓國(guó)設(shè)備企業(yè)帶來(lái)出口機(jī)會(huì)，這對(duì)韓國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)是利好因素。

實(shí)際上，不僅是韓國(guó)，日本也有望在這波禁令和設(shè)備采購(gòu)熱潮中受惠。

目前來(lái)看，韓國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市占率與日本相比還是有不小差距的，而日本半導(dǎo)體設(shè)備在全球范圍內(nèi)，市占率僅次于美國(guó)。

在日本，除了全球排名第三的東京電子之外，還有多家排名在全球前15的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，如迪恩士（SCREEN），日立高新（Hitachi-High Technologies），日立國(guó)際電氣（hitachi kokusai），Daifuku（大福），尼康和Advantest。

韓國(guó)方面，與日本相比，半導(dǎo)體設(shè)備廠商的數(shù)量和市場(chǎng)影響力都比較有限。最知名的就是SEMES了，該公司成立于1993年，是韓國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備第一大廠，主要生產(chǎn)清洗、光刻和封裝設(shè)備。

在政府的支持下，韓國(guó)本土的中小半導(dǎo)體設(shè)備廠商躊躇滿志，有望實(shí)現(xiàn)快速增長(zhǎng)。

代表廠商如Jusung Engineering，該公司生產(chǎn)半導(dǎo)體，平板顯示器和太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備。盡管該公司在2020年苦苦掙扎，當(dāng)?shù)乜蛻舻挠唵螠p少了，但在政府的支持下，今年有望恢復(fù)增長(zhǎng)，主要的半導(dǎo)體和顯示設(shè)備客戶已恢復(fù)投資，近幾個(gè)月來(lái)，來(lái)自中國(guó)客戶的訂單也已恢復(fù)。Jusung與LG Display簽訂了一項(xiàng)合同，于2020年11月提供175億韓元的顯示器制造設(shè)備。它還與中國(guó)的InfoVision光電公司簽訂了顯示設(shè)備供應(yīng)協(xié)議。該公司正加大在下一代設(shè)備上的研發(fā)投資力度，2020年前三季度，累計(jì)投資383億韓元，占公司銷售額的43.3％。

中國(guó)大陸對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的長(zhǎng)期需求強(qiáng)烈，而美國(guó)禁令難以繞開(kāi)，因此，今后幾年，韓國(guó)和日本的半導(dǎo)體設(shè)備廠商很有希望迎來(lái)一大波商機(jī)。

此外，隨著中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備采購(gòu)量的增加，設(shè)備供應(yīng)短缺的情況可能會(huì)惡化。由于全球半導(dǎo)體供應(yīng)短缺，半導(dǎo)體設(shè)備的供應(yīng)期變長(zhǎng)，中國(guó)的“囤積”很可能會(huì)加劇這種情況。事實(shí)上，由于設(shè)備交付期延長(zhǎng)以及對(duì)供需失衡的擔(dān)憂，SK海力士正在將明年的部分投資投入到今年下半年。另外，對(duì)于日韓的設(shè)備廠商而言，中國(guó)對(duì)本土半導(dǎo)體設(shè)備的投資正在成為一個(gè)“負(fù)面”信號(hào)，因?yàn)檫@意味著日韓半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的潛在競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手正在崛起。

韓國(guó)一家半導(dǎo)體設(shè)備公司的負(fù)責(zé)人表示，由于中國(guó)的采購(gòu)量增加，其他半導(dǎo)體制造商采購(gòu)設(shè)備變得越來(lái)越困難。而這也可能是全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的一個(gè)變數(shù)。