全國人大代表、中國四聯(lián)儀器儀表集團有限公司董事長向曉波在2020年全國兩會期間建議，大力發(fā)展我國自主半導體MEMS傳感器芯片核心技術與產業(yè)化。

向曉波說，MEMS半導體傳感器已成為“卡脖子”器件，嚴重制約著我國工業(yè)裝備安全自主可控發(fā)展。

根據(jù)國家創(chuàng)新驅動發(fā)展戰(zhàn)略整體部署，結合其多年對MEMS半導體傳感器生產研發(fā)的實踐探索，向曉波對發(fā)展我國MEMS產業(yè)提出如下建議：

第一，做好產業(yè)發(fā)展的頂層設計。MEMS傳感器產業(yè)發(fā)展非常需要國家的宏觀規(guī)劃和指導，建議加強頂層設計，將MEMS傳感器產業(yè)作為一個單獨的產業(yè)加以研究，出臺有戰(zhàn)略規(guī)劃、有實現(xiàn)路徑、有推進實施機構、有聯(lián)動機制的行動方案和發(fā)展路線圖，規(guī)劃優(yōu)先發(fā)展的重點方向，部署前瞻性研究，形成政府導向、市場驅動的長效工作機制。

第二，設立跨國及國家級研發(fā)項目。組織遴選一批符合實現(xiàn)路徑的重點項目，設立重大專項，從國家、行業(yè)、地方層面給予持續(xù)的資金和政策支持，對MEMS傳感器的自主設計、工藝、制造等方面加大扶持投入。通過產學研合作以及國際合作，提高我國MEMS技術研發(fā)與自主創(chuàng)新能力。

第三，為產業(yè)發(fā)展提供資金扶持，將MEMS列入“政策性”補助產業(yè)，出臺相關財稅補助優(yōu)惠政策，使從事MEMS研發(fā)制造的企業(yè)可向相關機構申請MEMS產業(yè)發(fā)展補助。同時，出臺相關支持政策，支持國內企業(yè)開展MEMS傳感器領域的國際合作，包括技術引進、公司購并、智力引進等。在國家重點建設項目中，以政府采購、首臺套應用、產業(yè)鏈合作創(chuàng)新等政策，大力鼓勵、支持集成應用廠商購買使用國產MEMS傳感器及系統(tǒng)產品。借鑒集成電路產業(yè)投資基金的相關經驗，引導各界社會資本，設立MEMS傳感器產業(yè)投資基金，鼓勵參與MEMS傳感器產業(yè)創(chuàng)新。

考慮到MEMS對產業(yè)鏈上下游的協(xié)同制造能力要求較高，向曉波還建議，推動產業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新，建立研發(fā)與終端消費產品一體化的協(xié)同發(fā)展體系，形成以技術開拓市場、市場促進技術能力提升的循環(huán)發(fā)展模式，建立公共服務信息平臺，建立產學研用聯(lián)合培養(yǎng)模式。