12月6日，由北京中科科儀股份有限公司承擔(dān)的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)“場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開發(fā)和應(yīng)用”項(xiàng)目技術(shù)綜合驗(yàn)收會(huì)在北京外國專家大廈召開，科技部專家組成員、項(xiàng)目牽頭單位、合作和應(yīng)用單位代表參加了本次會(huì)議。

會(huì)上，驗(yàn)收專家組現(xiàn)場聽取了中科科儀項(xiàng)目負(fù)責(zé)人張永明所做的完成情況匯報(bào)，觀看了項(xiàng)目視頻，聽取了異地測試情況匯報(bào)。與會(huì)專家組成員對項(xiàng)目完成情況給予高度評價(jià)，一致建議通過驗(yàn)收。

中科科儀多年來一直致力于電子顯微鏡產(chǎn)品的研制開發(fā)與技術(shù)升級，1975年中科科儀研制成功的我國第一臺dx-3型掃描電子顯微鏡分辨率達(dá)到10nm；1985年與美國amary公司合作開發(fā)的kyky-1000b掃描電子顯微鏡分辨率達(dá)到6nm；直至今天kyky-em8100型場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡分辨率達(dá)到了1nm。

此次參與驗(yàn)收的場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡是納米科技研究不可缺少的工具,為前沿科技研究提供重要支撐，提升高端科學(xué)儀器研制水平，促進(jìn)精密制造業(yè)發(fā)展，滿足半導(dǎo)體技術(shù)、生命科學(xué)、環(huán)境保護(hù)等領(lǐng)域的迫切需求。該項(xiàng)目突破了高分辨電子光學(xué)成像系統(tǒng)設(shè)計(jì)、場發(fā)射槍工程化設(shè)計(jì)制造、電子束加速鏡筒設(shè)計(jì)制造等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，成功開發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的肖特基場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡，分辨率指標(biāo)分別達(dá)到和優(yōu)于3nm@1kv和1nm@30kv，達(dá)到國際一流水平，極大促進(jìn)了我國電子光學(xué)儀器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，使我國掃描電鏡實(shí)現(xiàn)臺階式飛越，有效解決當(dāng)前“卡脖子”問題，打破了國外產(chǎn)品壟斷局面，促進(jìn)國家、民族工業(yè)發(fā)展。極大推動(dòng)和提高我國前沿科學(xué)研究、重大工程和戰(zhàn)略型新興產(chǎn)業(yè)高端裝備的國產(chǎn)化和自主化水平。